HgCdTe探测器应力的多重晶X射线衍射分析

论文类型	基础研究	发表日期	2004-08-01
来源	功能材料与器件学报
作者	孙涛,王庆学,陈文桥,梁晋穗,陈兴国,胡晓宁,李言谨,何力
关键词	HgCdTe 应力钝化三重晶x射线衍射倒易空间作图
摘要	HgCdTe光伏探测器的钝化介质膜应力常常限制其低温性能，利用高分辨率多重晶x射线衍射仪中的三重晶衍射技术和倒易空间作图对钝化介质膜应力进行了表征，发现在较高溅射能量下沉积的钝化膜，由于应力的作用，HgCdTe晶片出现弯曲，并有大量镶嵌结构，而在较低的溅射能量下和热蒸发下沉积的钝化膜，晶面未出现明显弯曲，可获得较低应力的钝化介质层。

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