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半导体制造业的环境污染与清洁生产

论文类型 综述 发表日期 2000-08-01
来源 环境保护
作者 余刚
关键词 半导体制造业 清洁生产 环境污染
摘要 在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上, 讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径,介绍了一些成功的清洁生产方案。

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