ASM 工艺过程的化学计量关系推导及应用

论文类型	技术与工程	发表日期	2008-11-01
来源	环境科学与技术
作者	刘建勇,顾国维
关键词	ASM;机理模型;化学计量学;化学计量系数
摘要	ASM 系列模型自推出以来得到广泛应用。详细推导了ASM1 涉及到的主要化学计量系数,分析了ASM 在实际应用中应注意的问题。

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